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產品中心

PRODUCT CENTER


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Herz TS 主動隔振臺

Herz TS 主動隔振臺

       在3D空間的6個自由度中主動式隔振  從0.7 Hz 100 Hz

       在21世紀納米技術(即先進的半導體代表相關的信息技術,基因療法等生命科學相關技術,原子或分子處理如MEMS和工程技術等新材料生產), 振動、噪聲、電磁領域、熱、濕度、干擾等是測量環境的抑制因素。

       在納米技術中,為了獲得可靠的結果,使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動,此時需要主動隔離。

       先進的主動式隔振系統“TS 系列” 將作為21世紀納米技術的隔振技術基礎。它將有助于發展目前的技術和測量、創新和發展未知的技術。

裝載設備:

       掃描電子顯微鏡,如 AFM 3D表面分析儀,激光顯微鏡,激光干涉儀,液體表面張力測量系統,顯微硬度測量儀,醫療檢測設備等。

特點:

       在全部的6個自由度范圍內,從0.7Hz100Hz,TS系列產品提供優良的主動隔振性能。

       當儀器裝載時,高度調整會自動進行。

       即使當負載偏離中心時,自動調平功能也能保持水準。當高重心的儀器被加載時,給予穩定性。

       通過按下前方的按鈕,系統可以鎖定或者解鎖。鎖定功能可以防止在系統重新加載或傳輸中發生損壞。

       前方的顯示屏展示了在X,YZ方向的實際振動水平。

       主動隔振也可以通過使用可選的遠程控制箱來從外部啟用或禁用。(單獨出售) 有關詳情,請與我們聯系。

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TS應用案例


       Herz系列產品創建穩定的測量環境

支持改善TS的隔振性能

       主動式隔振系統控制水平和垂直方向20μm的振動振幅。如果工作臺或桌面不夠堅硬,TS系列產品的隔振性能將會降低,或者振動會放大。我們提供具有內置阻尼功能的剛性框架,以實現TS系列產品的理想性能。

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帶有鉆孔和螺紋孔的安裝板

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此安裝板由磁鐵不銹鋼和鋁制成。定制的鉆孔位置可以根據要求提供。

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