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產品中心

PRODUCT CENTER


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nSpec LS 晶圓缺陷檢測光學系統

nSpec LS 晶圓缺陷檢測光學系統
       本產品主要是用于檢測晶圓表面的缺陷。是一套實用的晶圓缺陷檢測光學系統。無論用戶對樣品檢驗有什么具體要求,我們都能提供廣范的解決方案來獲得快速的結果。
       nSpec LS是研發和過程開發的理想系統。它按順序運行多個掃描。友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費力。而且,隨著需求的發展,配方保存和修改也是非常方便的。
1. 半自動晶圓缺陷檢測功能
        ·基板,外延和圖案化晶圓
        ·透明和不透明的材料
        ·在膠片膠帶,托盤,凝膠包裝或蛋餅形包裝上模切
        ·光罩
        ·樣品碎片
2. 系統
        ·多種分辨率設置,范圍從0.25 μm及更高
        ·快速掃描
        ·可定制的缺陷報告
        ·各種樣品夾頭可滿足特定需求
        ·對缺陷或感興趣的特征進行檢測和分類的魯棒分析
        ·檢查和審查程序
        ·多系統同步
        ·占地面積小,設施要求zui少
        ·機架安裝控件
3. 系統參數
        重量:318 kg
        外觀尺寸(W x D x H):53 cm x 133 cm x 176 cm
        zui小氣壓:24 in. Hg (70 kPa)
        電源:110v/220v, 3.5 amps
光學器件:
        照明模式:Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski)
        光源:白光LED(也可選其他)
        物鏡倍率:2.5, 5, 10, 20, 或50x,用戶可選
工作臺:
       典型行程:200 mm,X和Y方向
       定位:帶有閉環編碼器的線性伺服電機(分辨率為50 nm)
       重復性:+/- 0.5 μm

       行程平整度:30 μm

       結構:精密地面滾道和交叉滾子軸承
       支撐平臺:顯微鏡/重型底座集成到隔離臺中
       中心負載能力:2.27 kg
       重量:11.33 kg
       尺寸(W x D x H):35 cm x 37 cm x 4 cm
備選功能:
       AFM原子力顯微鏡:可根據要求提供規格
       SECS/GEM
       透射光
       自動傳送晶圓片

如果您想了解關于這套型號為nSpec LS的晶圓缺陷檢測光學系統更多的信息,請聯系我們。

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