<del id="b1pnp"></del>
<ruby id="b1pnp"></ruby>
<strike id="b1pnp"><dl id="b1pnp"></dl></strike><strike id="b1pnp"></strike><strike id="b1pnp"><dl id="b1pnp"><del id="b1pnp"></del></dl></strike>
<strike id="b1pnp"><dl id="b1pnp"></dl></strike>
<strike id="b1pnp"></strike><strike id="b1pnp"><dl id="b1pnp"></dl></strike>
<span id="b1pnp"></span>
<strike id="b1pnp"><dl id="b1pnp"></dl></strike>
<span id="b1pnp"><video id="b1pnp"><ruby id="b1pnp"></ruby></video></span>
<span id="b1pnp"><video id="b1pnp"><ruby id="b1pnp"></ruby></video></span>
<strike id="b1pnp"></strike>
<span id="b1pnp"></span>
<strike id="b1pnp"><dl id="b1pnp"></dl></strike><strike id="b1pnp"></strike>
<strike id="b1pnp"></strike>

產品中心

PRODUCT CENTER


首頁 > 產品中心 > 晶圓缺陷檢測系統

nSpec PS 自動化光學晶圓缺陷檢測系統(量產型)

nSpec PS 自動化光學晶圓缺陷檢測系統(量產型)
1. 產品簡介
       無論用戶對樣品檢測檢驗有什么具體要求,我們都能提供廣范的解決方案來協助獲得快速的結果。
       nSpec PS 自動化光學晶圓缺陷檢測系統是用于晶圓缺陷檢測的研發和生產的理想系統。nSpec PS按順序運行多個掃描程序,友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費力,而且,隨著需求的發展,程序配方也易于保存和修改。
2. 全自動檢查功能
·適用于基板,外延和圖案化晶圓
·可用于透明和不透明晶圓
·薄膜膠帶,托盤,凝膠包裝或華夫包裝上的切成薄片的片
·用于光罩
·可處理樣品碎片
產品特點
·自動化的晶圓裝載機
·可設置多種分辨率
·快速掃描功能
·可定制的缺陷報告
·可設置單個圖像捕獲和掃描
·擁有各種樣品夾頭,可滿足特定需求
·對缺陷或感興趣特征進行檢測和分類的魯棒分析
3. 系統規格
重量:317 kg
尺寸(寬x深x高):176cm * 175cm * 203cm
蕞小真空要求:24英寸汞柱(70 kPa)
電源:110v / 220v,3.5A
4. 光學性能
照明模式:明場,暗場,DIC(Nomarski)
光源:白光LED(可用其他選項)

物鏡:2.5、5、10、20或50x,用戶可選

晶圓缺陷檢測光學系統 光學鏡頭.jpg

5. 工作臺
行程:典型的X和Y方向各200 mm
定位:使用閉環編碼器定位線性伺服電機(分辨率50 nm)
重復性:+/- 0.5 μm
行駛平面度:30 μm
結構:施工精密地面滾道和交叉滾子軸承
限位開關:光學,不可調節
固定平臺:顯微鏡,重型基座中心
負載能力:2.27 kg
重量:11.33 kg
尺寸(寬x深x高):35cm * 37cm * 4cm
6. 晶圓裝載機
一次運行1個盒帶:25個晶片/盒帶,標準H型卡匣
標準晶圓尺寸:50、75、100、150或200mm
尺寸(寬x深x高):71 cm * 75 cm * 35cm
重量:54 kg
7. 備選項
AFM規格:可根據要求提供
SECS / GEM
OCR(透射光)

未經許可不得復制、轉載或摘編,違者必究!

免费A片短视频在线观看